Mehr Präzision.
 

Waferkanteninspektion

Details

• Zuverlässige Defekterkennung
•  3 - 5 mm der Waferkante
•  Hochauflösendes BV-System
•  Findet Partikel, Risse, Kratzer, punktförmige und flächige Defekte, Ätzfehler, Kristallwachstum, Verschmutzung oder Geometrieabweichungen
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