interferoMETER: Leistungsstarke Sensoren für besondere Anforderungen

13.06.2023

Mit der interferoMETER Serie bietet Micro-Epsilon innovative Weißlichtinterferometer für die industrielle Abstands- und Dickenmessung mit höchster Genauigkeit. Im Gegensatz zu Laser-Interferometern können damit absolute Abstandsmessungen auch bei Signalsprüngen durchgeführt werden. Dabei werden Auflösungen bis zum Pikometerbereich realisiert. Für leistungsstarke Messungen in besonderen Umgebungen sind drei neue Sensoren verfügbar.

interferoMETER IMP-DS0,5/90/VAC

90° Abstandssensor für kleine Bauräume
Messbereich 1,5 mm
Linearität ±10 nm (abhängig vom Controller)
Radialer Strahlenaustritt
Ausführung für Vakuumapplikationen bis UHV

interferoMETER IMP-DS19/VAC(001)

Sensor mit höchster Temperaturstabilität
Messbereich 2,1 mm
Linearität ±10 nm (abhängig vom Controller)
Sensormaterial aus Invar
Ausführung für Vakuumapplikationen bis UHV

interferoMETER IMP-DS1/VAC

Miniaturisierter Abstandssensor ø4 mm
Messbereich 1,1 mm
Linearität ±10 nm (abhängig vom Controller)
Integriertes Kabel für einfache Installation
Ausführung für Vakuumapplikationen bis UHV