Beim Prozess zur Bedruckung von OLED-Bildschirmen wird Gas als Trägermaterial verwendet um organische Moleküle in Form von roten, grünen und blauen Strukturen über einen Druckkopf auf ein Substrat aufzudampfen. Besonders Abstands- und Spaltmessungen müssen hierbei exakt durchgeführt werden. Mit dem interferoMETER IMS5400MP-DS werden diese Messungen ermöglicht. 

Aus Qualitätsgründen muss der Abstand zum Substrat stets exakt gleich bleiben. Da das Substrat auf einem Lufttisch aufliegt und daher schwanken kann, wird dessen Abstand zum Tisch von mehreren Interferometern ermittelt. Mit der Multi-Peak-Option lassen sich zugleich der Spalt zwischen dem Substrat und die darauf befindliche Siliziumschicht prüfen. Der äußerst kleine und vakuumtaugliche Sensor IMP DS1/VAC ist direkt im Lufttisch verbaut und misst von unten auf bzw. durch das etwa 0,5 mm dicke Glas. Die Messwerte werden direkt über EtherCAT an die Steuerung der Maschine übermittelt und dort zur Regelung der Druckluft verwendet.

Vorteile auf einen Blick

• Höchste Genauigkeit in Auflösung und Linearität
• Multi-Peak-Funktion zur gleichzeitigen Abstands- und Spaltmessung
• Winzige Sensoren mit nur 4 mm im Durchmesser