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capaNCDT 6500

Nanometer-Mehrkanalsystem

Kapazitives Mehrkanalsystem für höchste Auflösung

Kapazitive Wegsensoren sind für Messaufgaben mit höchsten Auflösungen konzipiert. Das kapazitive Mehrkanalsystem capaNCDT 6500 eignet sich für stabile Messungen im Sub-Nanometerbereich. Der Controller bietet eine maximale Datenrate von 7,8 kHz (digital, bei bis zu vier Kanälen) bzw. 8,5 kHz Grenzfrequenz. Als Schnittstelle steht neben dem Analogausgang EtherCAT zur Verfügung. EtherCAT ermöglicht eine fehlerfreie Datenübertragung in Echtzeit, die schnelle Integration in die vorhandene Messumgebung und eine Synchronisation zweier Systeme. Die Konfiguration des capaNCDT 6500 erfolgt einfach über einen Web-Browser.

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Besonderheiten

  1. Messbereiche (mm): 0,05 | 0,2 | 0,5 | 0,8 | 1 | 2 | 3 | 5 | 10
  2. Auflösung max. 0,0375 nm
  3. Linearität max. 0,01 µm
  4. Grenzfrequenz 8,5kHz (-3 dB)
  5. Datenrate (Digitalausgang) 7,8 kHz
  6. Analogausgang (Spannung / Strom)
  7. Ethernet, EtherCAT
  8. Modular - bis zu acht Messkanäle
  9. Externer oder interner Vorverstärker
  10. Einfache Konfiguration über Webinterface
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Höchste Auflösung

Das System capaNCDT 6500 ist für Messaufgaben konzipiert, die eine Sub-Nanometer-Auflösung erfordern. Insbesondere für Positionieraufgaben in der Halbleiterindustrie oder für Anwendungen im Labor zeigt das capaNCDT 6500 seine Stärken. Das System ist für mehrkanalige Anwendungen konzipiert und modular aufgebaut. Bis zu 8 Sensoren werden über einen Vorverstärkerbaustein an die Signalaufbereitungselektronik angeschlossen.

Laptop mit Webinterface

Einfache Bedienung über Webinterface

Die gesamte Konfiguration des Controllers und der Sensoren wird ohne zusätzliche Software über ein einfach zu bedienendes Webinterface durchgeführt. Das Webinterface wird über eine Ethernet-Verbindung aufgerufen, worüber alle Einstellungen vorgenommen werden. Damit können Filter, arithmetische Verknüpfungen und weitere Parameter wie Triggerfunktionen, Messwertspeicherung und Linearisierung einfach angewendet werden.

Controller capaNCDT 6530 - Kapazitiver Controller mit Sub-Nanometer-Auflösung

Der kapazitive Controller DT6530 bietet maximale Auflösung und Signalstabilität in der kapazitiven Wegmessung. Der Controller kann mit bis zu 8 Kanälen betrieben werden und ist neben der Messung gegen leitfähige Objekte auch für Messungen gegen Isolatoren geeignet. Neben den Analogausgängen steht als Digitalschnittstelle Ethernet zur Verfügung. Der Controller DT6530 ist mit allen Sensoren und Kabeln der capaNCDT Serie kompatibel.

Besonderheiten

  1. Auflösung dynamisch 0,002 % d.M. (8,5 kHz)

  2. Grenzfrequenz 8,5 kHz (-3 dB) (umschaltbar 20 Hz; 1 kHz; 8,5 kHz)

  3. Analogausgang 0 ... 10 V (kurzschlussfest), 4 .. .20 mA; 0 ... 20mA

  4. Digitalschnittstelle Ethernet 24 Bit; EtherCAT

  5. Sonderabstimmung: bis zu 4-fache Standardkabellänge

Montagebügel zur zweiseitigen Dickenmessung

Der Montagebügel wurde zur zweiseitigen Dickenmessung mit kapazitiven Sensoren konzipiert und unterstützt die Ausrichtung der Messpunkte zueinander. Mithilfe des Bügels liegen die Sensoren exakt auf einer Achse, wodurch die Messpunkte deckungsgleich angeordnet sind. Dadurch wird ein versetztes Messen verhindert und ein zuverlässiges Messergebnis mit größtmöglicher Präzision erreicht. Die Montagebügel bieten Platz für bis zu 6 Sensoren. Dabei bilden jeweils zwei Sensoren eine Messstelle.

Besonderheiten

  1. Mehrspurige Dickenmessung an bis zu 3 Stellen gleichzeitig

  2. Präzise Messung bei Temperaturen von bis zu 100 °C dank hoher Temperaturstabilität

  3. Vakuumtauglich

  4. Äußerst kompakte Bauform

  5. Einfache Integration und Nachrüstung in bestehende Anlagen

  6. Kompatibel mit capaNCDT Sensormodellen

  7. Kalibrierbare Ausführung ermöglicht eine hohe Präzision in der Dickenmessung

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