Kapazitive Wegsensoren für die Nanopositionierung

Kleinste Wege, sowohl statisch als auch dynamisch, werden üblicherweise durch Piezo-Aktoren erzeugt. Damit diese Wege die erforderliche Genauigkeit im Bereich von Nanometern und auch Sub-Nanometern besitzen, sind präzise Wegsensoren nötig. Extreme Auflösungen und Wiederholbarkeiten bis zu 0,04 nm sind möglich. Diese Subnanometer-Präzision liefern berührungslose kapazitive Wegsensoren von Micro-Epsilon. Die Baureihe capaNCDT verbindet Präzision mit der nötigen Stabilität.