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interferoMETER IMS5400-DS

Absolute Abstandsmessungen mit maximaler Präzision

interferoMETER IMS5400-TH

Innovative Weißlicht-Interferometer zur hochpräzisen Dickenmessung von dünnsten Gläsern und Folien

interferoMETER IMS5600-DS

Innovative Weißlicht-Interferometer für Abstandsmessungen mit Subnanometer-Auflösung

Hochpräzises Weißlicht-Interferometer zur berührungslosen Abstands- und Dickenmessung

Die innovativen Weißlicht-Interferometer von Micro-Epsilon setzen eine Benchmark in der hochpräzisen Abstands- und Dickenmessung. Die Sensoren ermöglichen stabile Messergebnisse mit einer Sub-Nanometerauflösung und verfügen über einen vergleichsweise großen Messbereich und Grundabstand. Die Interferometer sind in 3 Serien verfügbar: das IMS5400-DS zur hochpräzisen industriellen Abstandmessung, das IMS5400-TH zur genauen Dickenmessung und das vakuumtaugliche IMS5600-DS für Abstandsmessungen mit Pikometer-Auflösung.

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Deutliche Vorteile der innovativen Weißlicht-Interferometer

  1. Absolute Abstandsmessung mit Nanometer-Genauigkeit
  2. Präzise Dickenmessungen, unabhängig vom Abstand vom Sensor
  3. Multipeak-Abstandsmessung und Mehrschicht-Dickenmessung
  4. Unerreichte Präzision für industrielle Anwendungen
  5. Best-in-Class: Auflösung < 30 Pikometer (IMS5600)
  6. Hohe Signalstabilität dank neuer Auswertealgorithmen und aktiver Temperaturkompensation
  7. Großer Grundabstand
  8. Einfache Parametrierung über Webinterface
  9. Industrieoptimierte Sensoren mit robustem Metallgehäuse und flexiblen Kabeln
  10. Vakuumtaugliche Sensoren und Kabel
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Innovative Weißlicht-Interferometer für Industrie und Automation

Das industrietaugliche Weißlicht-Interferometer besteht aus einem robusten Sensor, einem hochflexiblen Sensorkabel und einem Controller im Aluminiumgehäuse, der an einer Hutschiene befestigt werden kann. Der Controller verfügt über eine aktive Temperaturregelung, mit der Änderungen der Umgebungstemperatur kompensiert werden und somit eine enorme Temperaturstabilität erreicht wird. Dank der robusten Bauform kann das Interferometer auch in industriellen Umgebungen integriert werden. Kabellängen bis zu 10 m erlauben darüber hinaus die räumliche Trennung von Controller und Sensor. Für Messaufgaben im Reinraum und im Vakuum stehen vakuumtaugliche Sensoren, Kabel und Kabeldurchführungen zur Verfügung.

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Enorme Z-Auflösung und kleiner Lichtfleck zur Messung kleinster Details und Strukturen

Die Sensoren ermöglichen eine Auflösung in Z-Richtung, die unter einem Nanometer liegt. Darüber hinaus erzeugen sie einen kleinen Lichtfleck mit nur 10 µm über den gesamten Messbereich. Dank dieser hohen Auflösung wird die Erfassung kleiner Details wie z.B. Strukturen auf Halbleitern und miniaturisierten Elektronikbauteilen ermöglicht. Der Lichtfleck wird durch einen Pilotlaser visualisiert und erleichtert die Ausrichtung des Sensors.

Neue Sensormodelle mit verschiedenen Bauformen

Zur Integration der Interferometer in anspruchsvolle Umgebungen stehen neue Sensoren mit unterschiedlichen Bauformen und Eigenschaften zur Verfügung. Der IMP-DS0.5/90/VAC kann dank 90° Strahlengang auch in flachen Bauräumen montiert werden. Der neue Miniatursensor IMP-DS1/VAC zählt zu den kleinsten optischen Sensoren von Micro-Epsilon. Mit einem Durchmesser von 4 mm und einem integrierten Kabel kann der Sensor auch in äußerst beengten Bauräumen eingesetzt werden. Sensoren und Kabel können sowohl im Reinraum als auch im Vakuum eingesetzt werden.

Patentierter Pilotlaser zur einfachen Sensorpositionierung

Weißlicht-Interferometer arbeiten mit infrarotem Licht im nicht sichtbaren Bereich (ca. 840 nm Wellenlänge), wodurch die Messposition nicht erkennbar ist. Zur Visualisierung der Messposition sind Micro-Epsilon Systeme mit einem Pilotlaser ausgestattet, welcher einen Lichtpunkt auf die Messposition projiziert. Darüber hinaus verwendet der Pilotlaser ein patentiertes Verfahren um neben der Messposition auch Rückmeldung zur Entfernung zu geben. Befindet sich das Messobjekt im richtigen Abstand zum Messobjekt und somit im Messbereich, wird ein konstantes Leuchten des Pilotlaser ausgegeben. Befindet sich das Messobjekt außerhalb des Messbereichs, blinkt der Pilotlaser.

Justierbarer Montageadapter zur Sensorausrichtung

Um die maximale Genauigkeit zu erzielen, müssen die Interferometer möglichst orthogonal zum Messobjekt ausgerichtet werden. Mit dem justierbaren Montageadapter können die Sensoren optimal zum Messobjekt ausgerichtet werden. Dabei kann die Ausrichtung auch nach der Montage in der Maschine erfolgen. Der industrietaugliche Adapter ermöglicht die Verschiebung in X- und Y- Richtung und die Verkippung des Sensors zum Messobjekt.

Jetzt neu: Justierbarer Montageadapter zur zweiseitigen Dickenmessung

Der JMA-Thickness besteht aus zwei justierbaren Montageadaptern und unterstützt die Ausrichtung der Sensoren bei einer zweiseitigen Dickenmessung. Somit können die Messpunkte absolut deckungsgleich in einer optischen Achse angeordnet werden. Durch diese Anordnung wird eine zuverlässige Dickenmessung mit größtmöglicher Präzision sichergestellt. Der JMA-Thickness ist ideal für die Integration in Maschinen und Produktionsanlagen geeignet. Die vormontierten Montageplatten erlauben eine einfache und schnelle Installation.

Einfache Bedienung über Webinterface

Die gesamte Konfiguration des Controllers und der Sensoren wird ohne zusätzliche Software über ein einfach zu bedienendes Webinterface durchgeführt. Das Webinterface wird über eine Ethernet-Verbindung aufgerufen und ermöglicht die schnelle und einfache Einstellung von z.B. Mittelungen, Messrate und Presets.

Schnittstellen- und Verrechnungseinheiten

Moderne Schnittstellen zur Einbindung in Maschinen und Anlagen

Der Controller verfügt über integrierte Schnittstellen wie Ethernet, EtherCAT und RS422 sowie zusätzliche Encoderanschlüsse, Analogausgänge, Synchronisationseingänge und digitale I/Os. Durch die Nutzung der Micro-Epsilon Schnittstellenmodule stehen PROFINET und EthernetIP zur Verfügung. Damit kann das Interferometer in sämtliche Steuerungen und Produktionsprogramme eingebunden werden. 

Anwendungsbereiche