capaNCDT
Größte Auswahl an kapazitiven Sensoren für Weg, Abstand & Position
Höchste Präzison in kleinster Bauform
Extrem robust von -270 bis +800 °C

Kapazitive Sensoren für hochpräzise Abstandsmessungen
Kapazitive Sensoren von Micro-Epsilon stehen für höchste Präzision in der Weg-, Abstand-, Spalt- und Dickenmessung. Vielfältige Bauformen ermöglichen eine optimale Integration und überzeugen mit herausragender Linearität, Temperaturstabilität und Auflösung.
Besonderheiten
- Enormes Anwendungsspektrum dank weltweit umfangreichstem und leistungsfähigstem Sensorportfolio
- Ultrakompakte Sensorbauformen zur einfachen Integration oder Nachrüstung
- Mehr Präzision: Höchste Messgenauigkeit und äußerst Temperatur- wie langzeitstabil
- Einsatz unter extremen Bedingungen: -270 bis +800 °C, UHV oder starke Magnetfelder
- Kundenspezifische Anpassungen für OEM-Serienanwendungen







Modellübersicht kapazitive Sensoren





Zylindrische Standardsensoren
Kapazitive Sensoren vom Typ CSx und CS-x sind zylindrische Wegsensoren, die über eine Umfangs- oder Punktklemmung montiert werden. Die Modelle CS-x verfügen für eine einfache und reproduzierbare Montage über ein minimal breiteres Gehäuse am optimalen Klemmpunkt. Dank der integrierten Buchse sind die Sensoren einfach steckbar und können mit verschiedenen Sensorkabeln kombiniert werden.
Eigenschaften
- Messbereiche (mm): 0,05 | 0,2 | 0,25 | 0,5 | 0,8 | 1 | 2 | 3 | 5 | 10
- Linearität ab 0,125 µm
- Auflösung ab 0,015 nm
- Temperaturbereich -50 ... +200 °C
- Durchmesser Messobjekt ab Ø 3 mm
- Exzellente Temperaturstabilität
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Zylindrische Sensoren mit reduzierter Bauform
Kapazitive Sensoren vom Typ CSE sind zylindrische Wegsensoren, die gegenüber den Standardmodellen CSx und CS-x bei gleichem Messbereich eine kompaktere Bauform aufweisen. Dadurch eignen sie sich besonders für den Einsatz in engen Einbauräumen. Die Montage erfolgt über eine Umfangsklemmung oder Punktklemmung. Je nach Messbereich sind die Sensoren entweder steckbar oder mit einem integrierten Sensorkabel ausgestattet.
Eigenschaften
- Messbereiche (mm): 0,1 | 0,25 | 0,5 | 1 | 1,25 | 2 | 3
- Linearität ab 0,25 µm
- Auflösung ab 0,03 nm
- Temperaturbereich -50 ... +200 °C
- Durchmesser Messobjekt ab Ø 3 mm
- Exzellente Temperaturstabilität
- Kompakte Bauform
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Hochpräzise zylindrische Sensoren
Kapazitive Sensoren vom Typ CSH sind zylindrische Sensoren für Anwendungen, bei denen maximale Präzision erforderlich ist. Die Montage erfolgt über eine Umfangsklemmung oder Punktklemmung. Zudem verfügen die Sensoren über ein integriertes Sensorkabel.
Eigenschaften
- Messbereiche (mm): 0,2 | 0,5 | 1 | 1,2 | 2
- Linearität ab 0,08 µm
- Auflösung ab 0,06 nm
- Temperaturbereich -50 ... +200 °C
- Durchmesser Messobjekt ab Ø 7 mm
- Exzellente Temperaturstabilität
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Zylindrische Sensoren mit Gewinde
Kapazitive Sensoren vom Typ CSE/Mx verfügen über ein im Gehäuse integriertes Gewinde. Dadurch lassen sie sich direkt an der Messstelle verschrauben und werden eingesetzt, wenn eine Klemmung nicht möglich ist. Dank der integrierten Buchse sind die Sensoren einfach steckbar und können mit verschiedenen Sensorkabeln kombiniert werden.
Eigenschaften
- Messbereiche (mm): 0,5 | 1,25 | 2 | 3
- Linearität ab 0,25 µm
- Auflösung ab 0,15 nm
- Temperaturbereich -50 ... +200 °C
- Durchmesser Messobjekt ab Ø 7 mm
- Exzellente Temperaturstabilität
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Flachsensoren
Kapazitive Sensoren vom Typ CSHxFL zeichnen sich durch ihre flache Bauform aus, die im Vergleich zu zylindrischen Modellen eine geringere Einbauhöhe ermöglicht. Aufgrund ihrer kompakten Bauweise ist das Sensorkabel bereits fest integriert. Mithilfe der im Gehäuse integrierten Befestigungsbohrungen lassen sich die Sensoren einfach verschrauben.
Eigenschaften
- Messbereiche (mm): 0,2 | 0,5 | 1 | 1,2 | 2 | 3
- Linearität ab 0,08 µm
- Auflösung ab 0,06 nm
- Temperaturbereich -50 ... +200 °C
- Durchmesser Messobjekt ab Ø 7 mm
- Exzellente Temperaturstabilität
- Platzsparender Einbau dank flacher Bauform
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Spaltsensoren
Kapazitive Sensoren vom Typ CSG und CSF zeichnen sich durch ihre extrem flache PCB-Bauform aus und eignen sich daher besonders für Spaltmessungen. Die CSF-Modelle erfassen den Spalt einseitig und sind damit für Anwendungen mit einer statischen Seite sowie für Kontroll- und Servicezwecke geeignet. CSG-Modelle hingegen ermitteln die Spaltbreite auf Basis von zwei einzelnen Abstandswerten und messen somit zweiseitig. Sie ragen frei schwebend in den Spalt hinein und kommen immer dann zum Einsatz, wenn beide Seiten des Spalts beweglich sind, zum Beispiel zwischen zwei rotierenden Walzen.
Eigenschaften
- Messbereiche (mm): 0,5 | 1 | 2 | 4 | 6
- Linearität ab 0,5 µm
- Auflösung ab 0,15 nm
- Durchmesser Messobjekt ab ca. 10 x 10 mm
- Temperaturbereich -50 ... (+100) +150 °C
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Zylindrische Sensoren für Umgebungen bis 800 °C
Kapazitive Sensoren vom Typ CSE/HT zeichnen sich durch einen besonders großen Temperaturbereich von bis zu +800 °C aus. Das integrierte Hochtemperatur-Sensorkabel kompensiert Störungen durch elektrische und magnetische Felder. In Kombination mit der hohen Temperaturstabilität und der ausgesprochen hohen Linearität ermöglicht dies präzise Messergebnisse auch unter anspruchsvollen Umgebungsbedingungen. Die Sensoren lassen sich einfach über eine Umfangsklemmung montieren und verfügen über ein integriertes Sensorkabel, das durch ein zusätzliches Standard-Sensorkabel verlängert werden kann.
Eigenschaften
- Messbereiche (mm): 1 | 2 | 5 | 10
- Linearität ab 0,5 µm
- Auflösung ab 10 nm
- Enormer Temperaturbereich -50 ... +800 °C
- Durchmesser Messobjekt ab Ø 8 mm
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Robuste Sensoren für anspruchsvolle Umgebungen
Kapazitive Sensoren vom Typ CSH/SE bzw. CSH/FL/SE sind konzipiert für anspruchsvolle Umgebungen, in denen beispielsweise extrem niedrige Temperaturen oder starke Magnetfelder herrschen. Darüber hinaus eignen sie sich ideal für Anwendungen im Reinraum sowie im Ultrahochvakuum. Die Sensoren sind sowohl in zylindrischer Ausführung (CSH/SE) als auch als Flachsensor (CSH/FL/SE) erhältlich.
Eigenschaften
- Messbereiche (mm): 0,2 | 0,5 | 1 | 1,2 | 2 | 3 | 5
- Linearität ab 0,25 µm
- Auflösung ab 0,075 nm
- Temperaturbereich -270 ... +200 °C
- Für anspruchsvolle Umgebungen wie Tiefsttemperaturen, Reinraum, UHV oder bei starken Magnetfeldern
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Datenblatt capaNCDT CSH/SE / capaNCDT CSH/FL/SE
Ultrakompakte Sensoren für beengte Bauräume
Micro-Epsilon bietet extrem kompakte kapazitive Sensoren für die Integration in beengten Bauräumen. Ob zylindrische Sensoren mit nur 3 mm im Durchmesser, sehr flachen Sensoren von 0,35 mm Dicke oder biegsame PCB-Ausführungen – es wird kaum Platz an der Messstelle benötigt. Zudem beginnt der Messbereich direkt am Sensor, was zusätzlich Bauraum spart.
Triaxialer Aufbau - maximale Signalstabilität
Micro-Epsilon kapazitive Sensoren verfügen über einen triaxialen Aufbau, der sie deutlich von konventionellen Sensoren unterscheidet. Ein integrierter Schutzring erzeugt ein sehr homogenes Messfeld und bildet die Grundlage für extrem präzise Messungen bei gleichzeitig hoher Signalstabilität. Ein elektrisch geschirmtes Sensorkabel minimiert externe Störeinflüsse und sorgt für ein besonders rauscharmes und zuverlässiges Messsignal.
Der richtige Sensor für Ihre Messaufgabe
Micro-Epsilon bietet das führende Sensorportfolio mit zahlreichen Modellen. Je nach Einbausituation stehen zylindrische Sensoren, Flachsensoren, Sensoren mit integriertem Gewinde oder flexible PCB-Sensoren zur Auswahl. Dank optimierter Gehäuse- und Vergussmaterialien können die kapazitiven Sensoren in nahezu jede Umgebung integriert werden:
Messbereichserweiterung und -verkürzung
Um die Flexibilität im Einsatz zu steigern, können die Messbereiche durch eine werkseitige Abstimmung des Controllers um einen Faktor (z.B. 0,5 oder 2) erweitert bzw. reduziert werden. Damit können vorhandene Sensorgeometrien auch für größere Messbereiche genutzt werden oder Messgenauigkeiten durch Messbereichsverkürzung gesteigert werden.
Zubehör für Vakuum und Dickenmessung
Ein umfangreiches Zubehörprogramm ermöglicht die optimale Anpassung der Sensoren an unterschiedlichste Anwendungen. Dazu gehören Vakuum-Komponenten wie Durchführungen und vakuumtaugliche Sensorkabel sowie individuell angepasste Kabellängen und Erweiterungen für spezielle Messaufgaben. Für die zweiseitige Dickenmessung ermöglicht ein optionaler Montagebügel eine Mehrspurlösung, die bei Bedarf auch kalibriert werden kann. Zusätzlich unterstützen Freiblasvorsätze für Spaltsensoren den zuverlässigen Einsatz in anspruchsvollen Umgebungen.












