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interferoMETER IMS5400-DS

Absolute Abstandsmessungen mit maximaler Präzision

Weißlicht-Interferometer zur absoluten Abstandsmessung mit Nanometer-Genauigkeit

Das neue Weißlicht-Interferometer IMS5400-DS eröffnet neue Perspektiven in der industriellen Abstandsmessung. Der Controller verfügt über eine intelligente Auswertung und ermöglicht absolute Messungen mit Nanometer-Genauigkeit bei verhältnismäßig großem Grundabstand. Im Vergleich zu anderen absolut messenden optischen Systemen bietet das IMS5400-DS damit eine unübertroffene Kombination aus Genauigkeit, Messbereich und Grundabstand.

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Besonderheiten

  1. Absolute Abstandsmessung mit Nanometerpräzision, geeignet zur Messung von z.B. Stufenprofilen
  2. Multipeak-Abstandsmessung von transparenten Objekten
  3. Kompakte und robuste Sensoren mit großem Grundabstand
  4. Messrate bis zu 6 kHz für schnelle Messungen
  5. Robuster Controller mit passiver Kühlung
  6. Einfache Konfiguration über Webinterface
  7. Kompakte Sensoren auch mit 90° Strahlengang
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stabile Messung von Stufenprofilen

Absolute Abstandsmessung mit Nanometerauflösung

Das IMS5400-DS wird zur hochpräzisen Weg- und Abstandsmessung eingesetzt. Anders als herkömmliche Interferometer ermöglicht das IMS5400-DS auch die stabile Messung von Stufenprofilen. Dank der absoluten Messung erfolgt das Abtasten von Stufen mit hoher Signalstabilität und Präzision. Bei Messungen auf bewegte Objekte können somit die Höhenunterschiede von Absätzen, Stufen und Vertiefungen zuverlässig erfasst werden. 

Multipeak-Abstandsmessung

Bei der Multipeak-Abstandsmessung auf transparente Objekten werden bis zu 14 Abstandswerte gleichzeitig ausgewertet. Damit kann beispielsweise der Abstand zwischen Glas und einer Trägerplatte ermittelt werden. Darüber hinaus kann der Controller die Glasdicke aus den Abstandswerten berechnen.

Multipeak-Abstandsmessung auf transparente Objekte bis zu 14 Abstandswerte gleichzeitig

Ideal für industrielle Umgebungen

Robuste Sensoren und ein Controller im Metallgehäuse prädestinieren das System zur Integration in Fertigungslinien. Der Controller lässt sich per Hutschienenmontage im Schaltschrank verbauen und liefert dank aktiver Temperaturkompensation und passiver Kühlung sehr stabile Messergebnisse. Die kompakten Sensoren sind äußerst platzsparend und können auch in beengte Bauräumen integriert werden. Die hochflexiblen Lichtleiter-Kabel sind mit einer Länge bis 10 m verfügbar und erlauben eine räumliche Trennung von Sensor und Controller. Die Inbetriebnahme und Parametrierung erfolgt bequem per Webinterface und erfordert keine Software-Installation.

Kleiner Lichtfleck zur Messung kleinster Details und Strukturen

Die Sensoren erzeugen einen kleinen Lichtfleck über den gesamten Messbereich. Der Lichtfleckdurchmesser beträgt nur 10 µm und ermöglicht die Erfassung kleiner Details wie z.B. Strukturen auf Halbleitern und miniaturisierten Elektronikbauteilen.

Messung kleinster Details mit kleinem Lichtfleck
Messung auf zahlreiche Oberflächen

Messung auf zahlreiche Oberflächen

Das interferometrische Messverfahren ermöglicht die Messung auf zahlreichen Oberflächen. Damit können hochpräzise Abstandsmessungen auf spiegelnden Metallen, Kunststoffen und Gläsern erfolgen.

NEU: Sensoren auch mit 90° Strahlengang

Dank der kompakten Bauform können die Sensoren auch in beengten Bauräumen integriert werden. Bei den Modellen mit 90° Strahlenausgang wird die erforderliche Bauraumtiefe nochmals deutlich reduziert.

interferoMETER Sensor mit 90° Strahlengang

Zahlreiche Modelle für anspruchsvolle Messaufgaben

Modell Messbereich / Messbereichsanfang Linearität Anzahl messbarer Schichten Einsatzbereiche
IMS5400-DS0,5/90/VAC 1,5 mm /ca. 0,5 mm ± 50nm -

Hochpräzise Abstandsmessung in Reinraumumgebung und Vakuum z.B. Messung auf beschichteten Wafern.
Nichtmagnetische Titan UHV-Variante ermöglicht den Einsatz bei starken Magnetfeldern z.B. in der Medizintechnik (Kernspinn oder Elektronenstrahlmikroskop)
IMS5400-DS10/90/VAC 1,5 mm / 10 mm
IMS5400-DS19 2,1 mm / ca. 19 mm ± 50 nm - Industrielle Abstandsmessungen z.B. in der Präzisionsfertigung
IMS5400-DS19/VAC Präzise Positionieraufgaben und Abstandsmessungen in Reinraumumgebungen und Vakuum z.B. in der Displayproduktion zur Maskenpositionierung
IMS5400MP-DS19 Abstandmessung:
2,1 mm / ca. 19 mm
Dickenmessung:
0,01 … 1,3 mm (bei BK7, n=1,5) / ca. 19 mm		 ± 50 nm für den ersten Abstand
± 150 nm für jeden weiteren Abstand		 Bis zu 13 Schichten Industrielle Abstands- und Dickenmessung z.B. in der Flachglasproduktion
IMS5400MP-DS19/VAC Präzise Abstands- und Dickenmessung in Reinraumumgebungen und Vakuum z.B. in der Displayproduktion zur Abstands- und Spaltmessung

Schnittstellen- und Verrechnungseinheiten

IF2008/PCIE
IF2035 für Industrial Ethernet

Moderne Schnittstellen zur Einbindung in Maschinen und Anlagen

Der Controller verfügt über integrierte Schnittstellen wie Ethernet, EtherCAT und RS422 sowie zusätzliche Encoderanschlüsse, Analogausgänge, Synchronisationseingänge und digitale I/Os. Durch die Nutzung der Micro-Epsilon Schnittstellenmodule stehen PROFINET und EthernetIP zur Verfügung. Damit kann das Interferometer in sämtliche Steuerungen und Produktionsprogramme eingebunden werden. 

Tutorials

interferoMETER (Weißlicht)

Micro Epsilon Logo
Inbetriebnahme

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