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interferoMETER IMS5400-TH

Hochpräzise Dickenmessungen von dünnsten Gläsern und Folien

Weißlicht-Interferometer zur stabilen Dickenmessung mit Submikrometer-Genauigkeit

Das neue Weißlichtinterferometer IMS5400-TH eröffnet neue Perspektiven in der industriellen Dickenmessung. Der Controller verfügt über eine intelligente Auswertung und ermöglicht die Dickenmessung von transparenten Objekten mit höchster Präzision.

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Besonderheiten

  1. Nanometergenaue Dickenmessung und Mehrschicht-Dickenmessung auch bei Abstandsschwankung und vibrierenden Messobjekten
  2. Stabile Messung aus großem Abstand auch von Antireflex-beschichteten Messobjekten
  3. Industrieoptimierte Sensoren mit robustem Metallgehäuse und flexiblen Kabeln
  4. Messrate bis zu 6 kHz für schnelle Messungen
  5. Einfache Konfiguration über Webinterface
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Dickenmessbereiche Luftspaltmessung (mit Brechungsindex ~1) 50 µm bis 2,1 mm Glasdickenmessung (mit Brechungsindex ~1,5) 35 µm bis 1,4 mm

Stabile Dickenmessung bei schwankenden Messabständen

Das Weißlicht-Interferometer IMS5400-TH wird für hochgenaue Dickenmessungen aus verhältnismäßig großem Abstand eingesetzt. Ein entscheidender Vorteil ist dabei die abstandsunabhängige Messung, bei der ein nanometergenauer Dickenwert auch bei bewegten Objekten erzielt wird. Der große Dickenmessbereich ermöglicht die Messung von dünnen Schichten, Flachglas und Folien. Da das Weißlichtinterferometer mit einer SLED im Nah-Infrarotbereich arbeitet, ist auch die Dickenmessung von antireflex-beschichtetem Glas möglich.

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Mehrschicht-Dickenmessung

Mit der Multipeak-Controllervariante können mehrere Signalpeaks gleichzeitig ausgewertet werden. Dadurch kann eine Mehrschicht-Dickenmessung von transparenten Objekten oder Verbundgläsern durchgeführt werden. Der Controller gibt die Dickenwerte mit höchster Stabilität unabhängig von ihrer Lage aus.

Ideal für industrielle Umgebungen

Robuste Sensoren und ein Controller im Metallgehäuse prädestinieren das System zur Integration in Fertigungslinien. Der Controller lässt per sich Hutschienenmontage im Schaltschrank verbauen und liefert dank aktiver Temperaturkompensation und passiver Kühlung sehr stabile Messergebnisse. Die kompakten Sensoren sind äußerst platzsparend und verfügen über hochflexible Lichtleiter-Kabel. Kabellängen bis zu 10 m ermöglichen eine räumliche Trennung von Sensor und Controller. Der Sensor lässt sich dank integriertem Pilotlaser einfach und schnell ausrichten. Die Inbetriebnahme und Parametrierung erfolgt bequem per Webinterface und erfordert keine Software-Installation.

Zahlreiche Modelle für anspruchsvolle Messaufgaben

Modell Messbereich / Messbereichsanfang Linearität Anzahl messbarer Schichten Einsatzbereiche
IMS5400-TH45 0,035 … 1,5 mm (bei BK7, n=1,5) /
ca. 41,5 mm mit einem Arbeitsbereich von ca. 7 mm
±100 nm 1 Schicht Industrielle Inline-Dickenmessung z. B. in der Flachglasproduktion einschichtiger Gläser
IMS5400-TH45/VAC Inline-Dickenmessungen in Reinraumumgebungen und Vakuum z.B. in der Displayproduktion zur Spaltmessung im Vakuum
IMS5400MP-TH45 ±100 nm Bis zu 5 Schichten Industrielle Inline-Mehrschichtmessung z.B. in der Flachglasproduktion mehrschichtiger Gläser
IMS5400MP-TH45/VAC Inline-Mehrschichtmessungen in Reinraumumgebungen z.B. in der Displayproduktion zur Mehrschichtmessung im Vakuum  
IMS5400-TH70 0,035 … 1,5 mm (bei BK7, n=1,5) /
ca. 68 mm mit einem Arbeitsbereich von ca. 4,2 mm
±200 nm 1 Schicht Industrielle Inline-Dickenmessung z.B. in der Folienproduktion einschichtiger Folien
IMS5400MP-TH70 ±200 nm Bis zu 5 Schichten Industrielle Inline-Mehrschichtmessung z.B. in der Folienproduktion mehrschichtiger Folien

Schnittstellen- und Verrechnungseinheiten

Moderne Schnittstellen zur Einbindung in Maschinen und Anlagen

Der Controller verfügt über integrierte Schnittstellen wie Ethernet, EtherCAT und RS422 sowie zusätzliche Encoderanschlüsse, Analogausgänge, Synchronisationseingänge und digitale I/Os. Durch die Nutzung der Micro-Epsilon Schnittstellenmodule stehen PROFINET und EthernetIP zur Verfügung. Damit kann das Interferometer in sämtliche Steuerungen und Produktionsprogramme eingebunden werden.