Erkennen und Messen von Sägeriefen

Zur automatischen Erkennung und Vermessung von Sägeriefen werden konfokal-chromatische Sensoren von Micro-Epsilon eingesetzt. Die schnelle Oberflächenkompensation im Controller regelt die Belichtungszyklen, um eine maximale Signalstabilität bei Oberflächen mit unterschiedlichen Reflexionseigenschaften sicherzustellen. Die konfokale Sensoren von Micro-Epsilon sorgen dank der hohen Winkelverkippung und dem kleinen Lichtfleck für eine zuverlässige Erfassung der Sägeriefen und anderen Vertiefungen am Wafer.
Empfohlene Sensortechnologie
Konfokale Sensorsysteme für Weg, Abstand, Position und Dicke
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