Zur automatischen Erkennung und Vermessung von Sägeriefen werden konfokal-chromatische Sensoren von Micro-Epsilon eingesetzt. Die schnelle Oberflächenkompensation im Controller regelt die Belichtungszyklen, um eine maximale Signalstabilität bei Oberflächen mit unterschiedlichen Reflexionseigenschaften sicherzustellen. Die konfokale Sensoren von Micro-Epsilon sorgen dank der hohen Winkelverkippung und dem kleinen Lichtfleck für eine zuverlässige Erfassung der Sägeriefen und anderen Vertiefungen am Wafer.
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