Lagebestimmung beim Waferhandling

Beim Handling von Wafern ist die exakte und reproduzierbare Positionierung entscheidend. Beim Zuführen von Wafern prüfen zwei optoCONTROL Laser-Mikrometer den Durchmesser und ermitteln so die horizontale Lage. Dank der hohen Messrate und der hohen Messgenauigkeit liefern die Mikrometer eine zuverlässige Aussage über die Position. Je nach Position der beiden Mikrometer zueinander können unterschiedliche Waferdurchmesser erfasst werden.