Konfokale Sensorsysteme für Weg, Abstand, Position und Dicke

confocalDT

Konfokal-chromatische Sensoren der Serie confocalDT werden zur schnellen Abstands- und Dickenmessung eingesetzt. Unterschiedliche Sensormodelle und verschiedene Schnittstellen am Controller eröffnen vielfältige Anwendungen, z.B. in der Halbleiterindustrie, Glasindustrie, Medizintechnik und Kunststoffproduktion. Dank der leistungsfähigen Controller und den präzisen Sensoren können kleinste Details und Strukturen auf allen Oberflächen zuverlässig gemessen werden.

Besonderheiten
  • Abstands- und Dickenmessung mit enormer Auflösung und Messrate
  • Ideal zur Automatisierung und Fertigungsüberwachung
  • Nahezu oberflächenunabhängig, auch für Spiegel und Glas
  • Extrem kleiner konstanter Messfleck
  • Nanometergenaue Auflösung
  • Industrietaugliche Controller mit idealem Signal-Rausch-Verhältnis
  • Passives Messsystem
  • Neu: Schnellster Controller weltweit mit integrierter Lichtquelle

Weg- und Abstandsmessung auf nahezu allen Oberflächen mit Submikrometergenauigkeit

Das konfokal-chromatische Messprinzip erlaubt es, Wege und Abstände hochpräzise zu messen – sowohl auf diffusen als auch auf spiegelnden Oberflächen. Die leistungsstarken Controller und innovativen Sensoren von Micro-Epsilon ermöglichen hochauflösende Messungen bis in den Nanometerbereich. 

Dickenmessung von transparenten Materialien: bis zu 5 Schichten mit nur einem Sensor

Das konfokal-chromatische Messprinzip ermöglicht die Dickenmessung von transparenten Materialien wie Glas. Dabei wird mit nur einem Sensor die Dicke mikrometergenau erfasst. Im Controller ist eine Materialdatenbank hinterlegt, die individuell editierbar und erweiterbar ist. Materialspezifische Parameter wie z.B. Brechungsindizes können über das Webinterface einfach angepasst werden. Bis zu 6 Peaks können ausgewertet werden (Multi-Peak-Messung). Dadurch lassen sich auch mehrschichtige Objekte wie z.B. Verbundglas vermessen.

Hochauflösende Controller für Abstandsmessung und Dickenmessung

Die confocalDT Controller liefern ein exzellentes Signal-Rausch-Verhältnis und ermöglichen Messungen mit höchster Präzision. Die schnelle Oberflächenkompensation sorgt für die Regelung der Belichtungszyklen, um eine hohe Signalstabilität zu erreichen. Dies zeigt sich besonders auf Oberflächen mit variierenden Reflexionseigenschaften. Als Schnittstellen stehen EtherCAT, Ethernet, RS422 und Analog Out zur Verfügung.

Schnellste Messrate für dynamische Messaufgaben

Die confocalDT IFC2471HS Controller bieten mit 70 kHz die höchste Messrate weltweit und werden oftmals für dynamische Überwachungsaufgaben eingesetzt. Um die Belichtung an die jeweilige Oberfläche anzupassen, wird die CCD Zeile dynamisch geregelt. Diese Regelung kompensiert Reflektivitätsänderungen des Mess­objekts wesentlich schneller als die herkömmliche Lichtquellenregelung. Dadurch liefern die confocalDT Controller eine enorme Messgenauigkeit bei hohen Messraten und wechselnden Oberflächenfarben. 

Kleinster Lichtpunkt weltweit: Messung kleinster Details und Strukturen

Die konfokalen Sensoren von Micro-Epsilon erzeugen dank der hohen Numerischen Apertur (NA) kleinste Lichtpunkte <3 µm. Dadurch werden kleinster Details und Strukturen zuverlässig erfasst.

Großer Verkippungswinkel

Die confocalDT IFS Sensoren bieten einen großen Verkippungswinkel bis zu 48°. Dadurch werden gekrümmte und insbesondere strukturierte Oberflächen zuverlässig erfasst und stabile Signale erzeugt.

Einsatz im Vakuum

Die confocalDT Sensoren sind mit passiven Komponenten aufgebaut und geben keine Wärmeabstrahlung an die Umgebung ab. Speziell für den Einsatz im Vakuum bietet Micro-Epsilon Sensoren, ­Kabel und Zubehörteile, die für die jeweilige Spezifikation geeignet sind.

Einfache Bedienung über Webinterface

Die gesamte Konfiguration des Controllers und der Sensoren wird ohne zusätzliche Software über ein einfach zu bedienendes Webinterface durchgeführt. Das Webinterface wird über eine Ethernet-Verbindung aufgerufen, worüber alle Einstellungen vorgenommen werden. Für die Dickenmessung ist eine Materialdatenbank hinterlegt, die beliebig erweitert werden kann.

Einfache Integration dank zahlreicher Schnittstellen

Analog RS422 Ethernet Ethercat Profinet EthernetIP
Anwendungsbeispiele

Micro-Epsilon Messtechnik
Königbacher Str. 15
94496 Ortenburg
info@micro-epsilon.de
+49 8542 / 168 - 0
+49 8542 / 168 - 90