Multipeak-Weißlicht-Interferometer für industrielle Messaufgaben und Nanometer-Genauigkeit

02.05.2022

Die Produktgruppe der Weißlichtinterferometer repräsentiert die präzisesten Sensoren im Micro-Epsilon Gesamtportfolio. Ab sofort sind die interferoMETER Serien auch als Multipeak-Systeme verfügbar, wodurch sich zahlreiche neue Anwendungsmöglichkeiten eröffnen. Zum Einsatz kommen Interferometer immer dann, wenn hochauflösende Abstands- und Dickenmessungen gefordert werden.

Die neuen Multipeak-Ausführungen ermöglichen nun auch die hochpräzise Erfassung von transparenten Schichten. Je nach Controllermodell erfolgt dies über Berechnungen aus den jeweiligen Abstandswerten und unter Berücksichtigung der Brechungsindizes. Das Dickenmesssystem nimmt kein Abstandsmessungen vor, es misst die Dicke der einzelnen Schichten und deren Kombinationen. Neben der Multipeak-Ausführungen wurde eine weitere Optimierung vorgenommen. Für den industriellen Einsatz sind die Interferometer nun mit neuen Sensorgehäusen in höherer Schutzart IP65 ausgestattet.

Mit dem interferoMETER IMS5400-DS lassen sich hochpräzise Abstandmessungen in industriellen Anwendungen durchführen. Es ermöglicht auch die stabile Messung von Stufenprofilen. Dank absoluter Abstandsmessung erfolgt das Abtasten von Stufen mit höchster Signalstabilität und Präzision. Bei Messungen auf bewegte Objekte können somit die Höhenunterschiede von Absätzen, Stufen und Vertiefungen ohne zusätzliche Referenzierung erfasst werden.

Das interferoMETER IMS5400-TH eignet sich zur genauen Dickenmessung ebenfalls in industriellen Anwendungen. Der große Dickenmessbereich ermöglicht die Messung von dünnen Schichten, Flachglas und Folien. Da das Weißlichtinterferometer im Nah-Infrarotbereich arbeitet, ist auch die Dickenmessung von antireflexbeschichtetem Glas möglich.

Das interferoMETER IMS5600-DS schließlich ist für Abstandsmessungen geeignet, wobei Auflösungen im Bereich weniger Pikometer möglich sind. Dank der absoluten Messung erfolgt das Abtasten ohne Signalverlust. Bei Messungen auf bewegte Objekte können somit die Höhenunterschiede von Absätzen, Stufen und Vertiefungen zuverlässig erfasst werden. Das Messsystem bietet eine Sub-Nanometer-Auflösung bei gleichzeitig großem Grundabstand in Relation zum Messbereich.

Zusätzlich zur überragenden Linearität bieten Weißlichtinterferometer von Micro-Epsilon eine Auflösung bis zu < 30 Pikometer. Die Konfiguration erfolgt auf einfache Weise über Webinterface.

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