capaNCDT
Führend in der kapazitiven Präzisionssensorik
Extreme Auflösung: 0,03 Nanometer
Enorme Anwendungsvielfalt für die Messung von Abstand, Spalt und Dicke

Kapazitive Sensoren für hochpräzise Abstandsmessungen
Kapazitive Sensoren werden zur hochpräzisen Abstandsmessung mit höchster Signalstabilität eingesetzt. Als Technologieführer mit dem weltweit leistungsfähigsten Produktprogramm bietet Micro-Epsilon Lösungen für zahlreiche Messaufgaben. Dank kompakter Bauweise, robusten Sensoren und vielfältiger Anpassungsmöglichkeiten lassen sich die Systeme flexibel in unterschiedlichste industrielle Anwendungen integrieren – von der hochpräzisen Maschinenregelung in der Halbleiterindustrie bis zur kontinuierlichen Prozessüberwachung in der Batteriefertigung.
Micro-Epsilon - die Referenz für kapazitive Präzisionsmesstechnik.
Besonderheiten
- Hochpräzise Messung von Weg, Abstand, Spalt und Dicke
- Höchste Auflösung bis 30 Pikometer
- Universell einsetzbar auf allen elektrisch leitfähigen Messobjekten
- Geeignet für extreme Bedingungen: -270 bis +800°C oder UHV
- Extrem stabil bei Temperaturschwankungen
- Modernstes Produktportfolio für vielfältige Einsatzmöglichkeiten
- Optimierte Sensoren und Controller für OEM-Serienanwendungen







0,00000003 mm | Präzision, die neue Maßstäbe setzt
Kapazitiven Sensoren erreichen Auflösungen bis zu 30 Pikometer. Damit können kleinste Abstandsänderungen erfasst werden. Mit einer Linearität von nur 80 Nanometern erzielen die Sensoren eine unübertroffene Genauigkeit bei gleichzeitig höchster Stabilität.
Maximale Signalstabilität dank Low-Noise-Technologie
Kapazitive Sensoren von Micro-Epsilon stehen für maximale Signalstabilität und höchste Messpräzision – selbst in anspruchsvollen Anwendungen. Die integrierte Low-Noise-Technologie kombiniert einen triaxialen Sensoraufbau mit elektrisch geschirmten Sensorkabeln. Dadurch werden Störeinflüsse effektiv minimiert und besonders stabile sowie rauscharme Messsignale ermöglicht.
Zusätzlicher Vorteil: Bei Mehrkanal-Messungen ist eine Berührung der Sensoren zulässig, wodurch besonders kompakte Sensoranordnungen möglich sind. Für gesteigerte Betriebssicherheit sind die Sensoren kurzschlusssicher ausgelegt.
Präzision in jeder Umgebung – vom Reinraum bis zur Produktionslinie
- Spezielle Aufbautechnik der Sensoren für maximale Signalstabilität
- Temperaturstabile und nicht-magnetische Materialien wie Invar, Titan oder Speziallegierungen (z.B. Inconel)
- Partikelfreie und ausgasungsarme Sensoren sowie reinraumtaugliche Sauber-Kabel
- Keine Wechselwirkungen mit der Umgebung, z. B. durch Kraft- oder Wärmeübertragung




Volle Kompatibilität: Größte Kombinationsvielfalt weltweit
Mit capaNCDT profitieren Sie von maximaler Flexibilität, voller Kompatibilität und höchster Präzision. Sensoren, Kabel und Controller sind vollständig untereinander kompatibel und lassen sich schnell und unkompliziert austauschen – auch beim Wechsel auf andere Messbereiche. Der Sensortausch ist somit direkt vor Ort in wenigen Sekunden möglich und reduziert Stillstandzeiten auf ein Minimum. Für Anwendungen mit hohen Genauigkeitsanforderungen optimiert der LC-Abgleich die Linearität. Das Ergebnis: größte Flexibilität bei gleichzeitig maximaler Betriebssicherheit.
Kompakt und einfach integrierbar
Kapazitive Sensoren von Micro-Epsilon lassen sich dank kompakter Bauformen und speziell entwickelter ultrakompakter Modelle besonders einfach in Maschinen integrieren oder nachrüsten. Flexible Industrie-Schnittstellen – von Strom- und Spannungsausgängen über RS485 und Ethernet bis hin zu Feldbussen – ermöglichen eine nahtlose Einbindung in bestehende Automatisierungsumgebungen.
Die robuste Sensor- und Kabelmontage sowie ein durchdachtes Installationskonzept sorgen für eine schnelle und sichere Inbetriebnahme. Für Anwendungen mit hohen Hygienestandards bieten die CSF-Modelle zusätzlich leicht zu reinigende Sensoroberflächen sowie flexible, biegsame PCB-Sensoren für besonders platzkritische Einbausituationen.
Funktionsweise der kapazitiven Sensoren
Die Funktionsweise des kapazitiven Sensors basiert auf der Erfassung einer Kapazitätsänderung. Bei einem Plattenkondensator ändert sich die Kapazität zwischen zwei Platten konstanter Größe dadurch, indem der Abstand verändert wird oder ein Dielektrikum in den Messspalt eingeführt wird. Beim kapazitiven Messverfahren agieren der Sensor (Messelektrode) und das leitende Messobjekt wie ein idealer Plattenkondensator. Durchfließt ein Wechselstrom konstanter Frequenz den Sensorkondensator, so ist die Amplitude der Wechselspannung am Sensor proportional zum Abstand des Messobjekts (Masse-Elektrode). Für eine konstante Messung ist eine gleichbleibende Dielektrizitätszahl zwischen Sensor und Messobjekt erforderlich.










