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Kapazitive Dickenmessung in hochpräzisen Anwendungen

Kapazitive Sensoren von Micro-Epsilon messen berührungslos Weg und Abstand, werden aber auch zur präzisen Dickenmessung eingesetzt. Die capaNCDT Sensoren erzielen Bestwerte z.B. in Linearität, Reproduzierbarkeit und Auflösung und erreichen auch in industriellen Umgebungen Genauigkeiten im Submikrometerbereich. Aufgrund ihrer enormen Temperaturstabilität werden auch bei schwankenden Umgebungstemperaturen stabile Messsignale generiert.

Jeder kapazitive Sensor kann ohne aufwendige Kalibrierung mit einem beliebigen Controller von Micro-Epsilon verwendet werden. Über die verschiedenen Schnittstellen wie Analog, Ethernet und EtherCAT wird eine Anbindung an moderne Maschinen und Anlagen ermöglicht. Einstellungen lassen sich über das benutzerfreundliche Webinterface vornehmen.

In der Fertigungsüberwachung messen kapazitive Sensoren beispielsweise die Foliendicke oder den Klebeauftrag, eingebaut in Maschinen überwachen sie Verfahrwege und Werkzeugpositionen.

Hochpräzise Dickenmessung von Batteriefolien

Um die Dicke von Batteriefolien mit hoher Genauigkeit zu bestimmen, werden kapazitive Sensoren direkt in der Produktionslinie eingesetzt. Die Sensoren sind hierzu an einen Messbügel angebracht und messen von zwei Seiten auf die Folie. Jeder der beiden kapazitiven Wegsensoren liefert ein hochauflösendes Abstandssignal, das direkt im DT6200 Controller als Dickenmesswert verrechnet wird. Da der Messfleck der Sensoren größer ist als bei optischen Messverfahren, werden Strukturen und Unregelmäßigkeiten auf der Oberfläche gemittelt. Dank der hohen Temperaturstabilität liefern die Sensoren auch bei schwankenden Umgebungstemperaturen stabile Messwerte.

Zur präzisen Dickenmessung wird der innovative Mehrkanal-Controller capaNCDT 6200 genutzt. Er kann bis zu vier Kanäle gleichzeitig aufnehmen, verarbeiten und die Messwerte verrechnen. Für schnelle Messungen bis 20 kHz wird das Mehrkanalsystem capaNCDT 6222 eingesetzt.

Hochpräzise Dickenmessung von Silizium-Wafern

Für die exakte Dickenmessung von Wafern werden kapazitive Wegsensoren eingesetzt. Zwei gegenüberliegende Sensoren erfassen die Dicke. Auch Parameter wie die Durchbiegung können ermittelt werden. Dabei lässt sich die Lage des Wafers im Messspalt variieren, ohne die Messgenauigkeit zu beeinflussen.

Ist der Bauraum begrenzt, können kapazitive Flachsensoren eingesetzt werden. Diese sind ab einer Bauhöhe von nur 4 mm verfügbar.

Vorteile kapazitiver Sensoren

  • Höchste Präzision mit Subnanometer-Genauigkeit
  • Hervorragende Temperaturstabilität
  • Enorme Anwendungsvielfalt: Halbleiterindustrie, Luftspaltmessung an Großmotoren, Verformungsmessung von Bremsscheiben, Positionierung von Maschinen
  • Einfache Bedienung über das Webinterface
  • Modulare synchronisierbare Mehrkanal-Controller erhältlich