Überwachung der axialen Bewegung von Innenlochsägen

Innenlochsägen werden zum Trennen von Siliziumingots eingesetzt. Um eine zuverlässige Trennung des Ingots zu erreichen, wird das Sägeblatt bzw. die Halterung mit Wirbelstromsensoren überwacht. Vier Sensoren messen berührungslos den Abstand auf die Halterung der Säge. Dank der hohen Grenzfrequenz und der Unempfindlichkeit gegenüber Staub und Schmutz liefern die Sensoren zuverlässige Messwerte über die axialen Abweichung des Sägeblatts. Damit wird ein homogener und gleichmäßiger Zuschnitt der Siliziumscheiben sichergestellt.