capaNCDT
Kapazitive Wegsensoren von Micro-Epsilon: das weltweit modernste Produktportfolio für vielfältige Einsatzmöglichkeiten
capaNCDT Hochtemperatursensoren
Präzise Messungen bis +800° C
capaNCDT
Kapazitive Wegsensoren für stabile Messungen von Weg, Abstand und Dicke
capaNCDT
Kapazitive Wegsensoren mit höchster Messgenauigkeit im Halbleitermaschinenbau
capaNCDT
Kapazitive Wegsensoren mit hoher Signalstabilität für industrielle Messaufgaben
Kapazitive Sensoren für Weg, Abstand, Position
Kapazitive Sensoren sind konzipiert für berührungslose Wegmessung, Abstandsmessung und Positionsmessaufgaben, werden aber auch zur Dickenmessung eingesetzt. Dank der hohen Signalstabilität und Auflösung werden die kapazitiven Wegsensoren für Messaufgaben in Labor und Industrie eingesetzt. In der Fertigungsüberwachung messen kapazitive Sensoren beispielsweise die Foliendicke oder den Klebeauftrag, eingebaut in Maschinen überwachen sie Verfahrwege und Werkzeugpositionen.
Modellübersicht
Besonderheiten
- Berührungslose Messung von Weg, Abstand und Dicke sowohl auf elektrischen Leitern als auch Isolatoren
- Höchste Messgenauigkeit für Labor und Industrie: Auflösung bis 0,03 nm
- Hochpräzise auch bei Temperaturschwankungen
- Kundenspezifische Sensoren und Controller
- Innovative Controllertechnologie mit einfacher Bedienung
- Alle capaNCDT Sensoren, Kabel und Controller sind miteinander kompatibel
- Weltweit modernstes Produktportfolio für vielfältige Einsatzmöglichkeiten
Einsatz im Vakuum und im Reinraum
Kapazitive Wegsensoren werden oftmals in Vakuum-Umgebungen oder in Reinräumen eingesetzt. In partikelfreier Umgebung erzielen die kapazitiven Sensoren von Micro-Epsilon eine Auflösung im Subnanometerbereich. Für Messaufgaben im Vakuum bietet Micro-Epsilon geeignete kapazitive Sensoren, Kabel und Durchführungen an. Diese Sensoren und Kabel sind hochgradig partikelfrei und werden bis zur Reinraumklasse ISO1 eingesetzt.
Hohe Störsicherheit bei Magnetfeldern
Für Umgebungen mit starken Magnetfeldern bietet Micro-Epsilon Sensoren und Sensorkabel, die aus nicht-magnetischen Materialien wie Titan oder Edelstahl aufgebaut sind. Durch die Schirmung des triaxialen Aufbaus wird darüber hinaus eine hohe Störsicherheit erreicht. Dadurch erzielen die kapazitiven Sensoren auch in Bereichen mit starken Magnetfeldern stabile Messsignale.
Hochpräzise auch bei extremen Temperaturen
Im Vergleich zu anderen berührungslosen Messverfahren zeichnen sich kapazitive Wegsensoren von Micro-Epsilon durch höchste Messgenauigkeit und Stabilität aus. Da thermisch bedingte Leitfähigkeitsänderungen des Messobjekts keinen Einfluss auf die Messung nehmen, sind die Messwerte auch bei starken Temperaturschwankungen stabil. Beispielsweise werden die kapazitiven Wegsensoren für Abstandsmessungen an supraleitenden Magneten eingesetzt. Der temperaturstabile Sensoraufbau ermöglicht Umgebungstemperaturen bis zu -270°C bei gleichzeitig höchster Messwert-Auflösung.
Neu: Präzise Messungen bei hohen Umgebungstemperaturen
Für Messungen von hohen Temperaturen bis +800° C werden die neuen CSE HT Sensoren eingesetzt. Die Hochtemperatursensoren werden mit den performanten Controllern der Serie capaNCDT 6228 betrieben.
Volle Kompatibilität: größte Kombinationsvielfalt weltweit
capaNCDT Sensoren, Kabel und Controller können einfach und schnell getauscht werden. Dank der innovativen Technologie entfällt eine Kalibrierung und Linearisierung. Der Austausch der capaNCDT Komponenten oder der Wechsel von kapazitiven Sensoren mit unterschiedlichen Messbereichen ist vor Ort in kürzester Zeit durchführbar. Dadurch eröffnet sich die weltweit größte Kombinationsvielfalt in der kapazitiven Wegmessung.
Kapazitive Sensoren für Serienanwendungen und OEM
Für spezielle Messaufgaben passen wir die Messsysteme nach Ihren Vorgaben an, z.B. Bauformen, Tiefsttemperatur/Kryotechnik, Messobjektabstimmungen, Vakkum/UHV, Kabellängen, abgeänderte Messbereiche oder Sensoren mit integriertem Controller. Weitere Informationen über die Sensoranpassungen erhalten Sie hier.
Funktionsweise und Messverfahren von kapazitiven Sensoren
Die Funktionsweise des kapazitiven Sensors basiert auf der Erfassung einer Kapazitätsänderung. Bei einem Plattenkondensator ändert sich die Kapazität zwischen zwei Platten konstanter Größe dadurch, indem der Abstand verändert wird oder ein Dielektrikum in den Messspalt eingeführt wird. Beim kapazitiven Messverfahren agieren der Sensor (Messelektrode) und das leitende Messobjekt wie ein idealer Plattenkondensator. Durchfließt ein Wechselstrom konstanter Frequenz den Sensorkondensator, so ist die Amplitude der Wechselspannung am Sensor proportional zum Abstand des Messobjekts (Masse-Elektrode). Für eine konstante Messung ist eine gleichbleibende Dielektrizitätszahl zwischen Sensor und Messobjekt erforderlich.
Stabile Messung durch Triax-Aufbau
Durch den Aufbau der capaNCDT Sensoren als Schutzringkondensatoren wird auch in der Praxis eine nahezu ideale Linearitätskennlinie erreicht. Kapazitive Sensoren von Micro-Epsilon werden in industriellen Messaufgaben eingesetzt, um bei konstantem Abstand ein Medium im Messspalt zu detektieren oder bei konstantem Medium bzw. Dielektrikum den Abstand zu einem leitenden Messobjekt zu messen.
Modernste Controller-Technologie mit einfacher Bedienung
Die modernen capaNCDT Controller sind mit verschiedenen Schnittstellen ausgestattet, z.B. Analog, Ethernet, EtherCAT und PROFINET. Damit können die kapazitiven Sensoren von Micro-Epsilon einfach in Maschinen und Anlagen integriert werden. Die Einstellung der capaNCDT Baureihe erfolgt komfortabel über ein Webinterface, das mittels Webbrowser angezeigt wird. Dazu wird ein PC über die Ethernet-Schnittstelle mit dem Controller verbunden. Alle Einstellungen, Filter und arithmetische Funktionen werden direkt im Controller gespeichert und ermöglichen eine intelligente Signalverarbeitung.
Anwendungsbereiche
