Prüfung der Verkippung von Linsenträgern

Kapazitive Wegsensoren messen die Verkippung von Linsenträgern mit Nanometergenauigkeit. Dank der hochpräzisen Messung wird eine reproduzierbare Projektion sichergestellt. Mehrere Sensoren messen dabei auf den metallischen Träger. Dank der extremen Auflösung wird eine exakte Waferbelichtung ermöglicht.