Konfokal-chromatische Sensoren

confocalDT IFS 2407-0,1

Micro-Epsilon bietet ein breites Programm an konfokalen Sensoren für Messaufgaben in zahlreichen Branchen. Da der Strahlengang der konfokalen Sensoren axial verläuft, treten keine Abschattungseffekte auf. Somit können auch Messungen in Hülsen und Vertiefungen realisiert werden. Neben den Standard-Sensoren für hochpräzise Messaufgaben stehen konfokale Miniatursensoren mit axialer und radialer Messrichtung (90°) zur Verfügung. Mit der 90°-Ausführung können Messungen im Inneren von Bohrungen und Vertiefungen durchgeführt werden. Die Sensoren sind passiv ausgeführt, strahlen keine Wärme auf das Messobjekt ab und können je nach Ausführung in schwierigen Umgebungen z.B. im Vakuum eingesetzt werden.

Klapper_IFS-2402_500x250

Konfokale Weg-Sensoren der Serie confocalDT IFS2402 sind konzipiert für hochpräzise Anwendungen in beengten Bauräumen. Die konfokal-chromatischen Miniatursensoren der Serie IFS2402, mit nur 4 mm Außendurchmesser und Edelstahlgehäuse, werden bei engen Vertiefungen oder Bohrungen eingesetzt. Besonders von Vorteil ist dafür die Sensorvariante mit radialem Strahlengang, um Wandungen und Strukturen zu erfassen.

Besonderheiten
  • Messbereiche (mm):
    0,4 | 1,5 | 2,5 | 3,5
  • Linearität max. 0,3 µm
  • Auflösung max. 0,016 µm
  • Einzigartige Miniatursensoren
  • Messung in Bohrungen
  • Axiale oder radiale Ausführung
  • Gehäuse aus Stahl oder Titan
  • 90° Variante mit Fase zur exakten Ausrichtung
Klapper_IFS-2403_500x250

Die Vorteile zweier erfolgreicher konfokaler Bauformkonzepte kombiniert der konfokal-chromatisch messende Sensor confocalDT IFS2403. Dieser Sensor ist mit 8 mm Außendurchmesser ähnlich schlank wie die Miniatursensoren der Serie IFS2402, kann aber aufgrund seiner größeren numerischen Apertur deutlich mehr reflektiertes Licht aufnehmen als das kleinere Modell mit nur 4 mm Durchmesser. Auch diese Sensoren verfügen über Modelle mit radialem und axialem Strahlengang.

Besonderheiten
  • Messbereiche (mm):
    0,4 | 1,5 | 4 | 10
  • Linearität max. 0,3 µm
  • Auflösung max. 0,016 µm
  • Sensor in Hybridbauweise
  • Gehäuse aus Stahl
  • Erhöhter Grundabstand
  • Axiale und radiale Messrichtung
Klapper_IFS-2404-2_500x250

Konfokale Weg-Sensoren der Serie confocalDT IFS2404 sind für hochpräzise Anwendungen in beengten Bauräumen konzipiert. Die Sensoren sind mit einer speziellen Linsentechnologie aufgebaut und liefern eine hohe Auflösung sowie einen kleinen Lichtpunktdurchmesser. Sie eignen sich insbesondere für Anwendungen mit hohen Stückzahlen.

Besonderheiten
  • Messbereich 2 mm
  • Linearität max. 1 µm
  • Auflösung 0,040 µm
  • Für Abstandsmessung und einseitige Dickenmessung geeignet
confocal-sensor-IFS2404-90-2

Der konfokal chromatische 90° Sensor confocalDT IFS2404/90-2 ist konzipiert zur präzisen Messung von Weg, Abstand, Position und Dicke. Der Sensor verfügt über eine 90° Optik und kann somit auch in beengten Bauräumen montiert werden. Die Sensoren der Serie 2404 sind mit einer speziellen Linsentechnologie aufgebaut und liefern eine hohe Auflösung sowie einen kleinen Lichtpunktdurchmesser. Sie eignen sich insbesondere für Anwendungen mit hohen Stückzahlen.

Besonderheiten
  • Messbereich 2 mm
  • Linearität max. 1 µm
  • Auflösung 0,040 µm
  • Für Anwendungen mit hohen Stückzahlen
  • 90° Optik zur Montage in beengten Bauräumen
Klapper_IFS-2405_500x250

Konfokale Sensoren der Serie confocalDT IFS 2405 sind konzipiert für hochpräzise Anwendungen. Diese konfokal-chromatischen Sensoren bieten hohe Grundabstände und verzeihen Verkippungen. Sie werden eingesetzt für gängige Messaufgaben und sind darüber hinaus für die einseitige Dickenmessungen von transparentem Material geeignet. Neu: Der Sensor ist jetzt auch mit 6 mm Messbereich verfügbar. Dieses Modell ist geeignet für alle Messaufgaben, bei denen eine große Entfernung zum Messobjekt gefordert wird.

Besonderheiten
  • Messbereiche (mm):
    0,3 | 1 | 3 | 6 | 10 | 28 | 30
  • Linearität max. 0,15 µm
  • Auflösung max. 0,01 µm
  • Für Abstandsmessung und einseitige Dickenmessung geeignet
  • Hohe Empfindlichkeit
Klapper_IFS-2406_500x250

Konfokale Sensoren der Serie IFS2406 zeichnen sich hohe Genauigkeit bei kompakter Bauform aus. Neben der Abstandsmessung gegen spiegelnde oder transparente Oberflächen ist der Sensor für die einseitige Dickenmessung von transparenten Folien, Platten oder Schichten einsetzbar. Der Sensoraufbau der IFS2406-2,5 Modelle ist darüber hinaus für den Einsatz im Vakuum geeignet und durch die axiale und radiale Messrichtung besonders vielseitig in der Anwendung.

Besonderheiten
  • Messbereiche (mm):
    2,5 | 3 | 10
  • Linearität max. 0,75 µm
  • Auflösung max. 0,024 µm
  • Für Abstandsmessung und einseitige Dickenmessung geeignet
  • Kleiner Lichtfleck
  • Vakuumtaugliche Sensorkonstruktion
Klapper_IFS-2407_500x250

Der konfokal chromatische 90° Sensor confocalDT IFS2407/90-0,3 ist konzipiert zur präzisen Weg- und Rauheitsmessung. Der Sensor verfügt über eine 90° Optik und kann somit auch in beengten Bauräumen montiert werden. Die Optik im Sensor erzeugt einen kleinen Messfleck und ermöglicht eine hohe Ortsauflösung. Der kleine Messfleck im Zusammenspiel mit dem hohen Verkippungswinkel ermöglichen den Einsatz zur Rauheitsmessung, wo höchste Präzision gefordert wird.

Besonderheiten
  • Messbereich (mm): 0,3
  • Linearität: max. 0,75 µm
  • Auflösung: max.10 nm
  • Ideal für Weg- und Rauheitsmessungen
  • Kleiner Messfleck 6 µm
  • Hohe Empfindlichkeit und großer Verkippungswinkel
Klapper_IFS-2407-0,1_500x250

Der konfokal-chromatische Sensor confocalDT IFS2407-0,1 ist konzipiert zur hochpräzisen Messung von Abstand und Rauheit und Dicke. Dank seiner hohen Numerischen Apertur (NA 0,8) ist eine Dickenmessung von transparenten Messobjekten bereits ab einer Dicke von 5 μm möglich. Für schnelle Prozesse ist der Sensor in einer lichtstarken Ausführung mit einer von NA 0,7 erhältlich. 

Besonderheiten
  • Messbereich (mm): 0,1
  • Linearität: max. 0,05 µm
  • Auflösung: max. 3 nm
  • Ideal für Abstands- und Rauheitsmessungen
  • Lichtstärkere Ausführung für schnelle Prozesse erhältlich (NA 0,7)
  • Kleiner Messfleck 3 µm
  • Hohe Empfindlichkeit und großer Verkippungswinkel
  • Dickenmessung von transparenten Objekten ab 5 µm
confocal-chromatic-sensors-IFS2407-3

Der konfokal-chromatische Sensor confocalDT IFS2407-3 verfügt über einen großen Messbereich von 3 mm bei gleichzeitig hohem Grundabstand. Dank dem großen Verkippungswinkel von ± 30° eignet sich der Sensor besonders für die Messung auf gekrümmte Oberflächen wie z.B. Zahnräder oder Außengewinde.

Besonderheiten
  • Messbereich (mm): 3
  • Linearität: max. 0,75 µm
  • Auflösung: max. 20 nm
  • Großer Grundabstand ca. 28 mm
  • max. Verkippungswinkel ± 30°
  • Ideal für Messungen auf gekrümmten und spiegelnden Flächen

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