Konfokale Sensoren zur hochpräzisen Messung von Abstand, Rauheit und Dicke

Die konfokal-chromatische Sensoren confocalDT IFS2407 sind konzipiert zur hochpräzisen Messung von Abstand und Rauheit und Dicke. Die Sensoren bieten eine hohe Numerische Apertur, kleine Lichtfleckdurchmesser und hohe Messwinkel, wodurch die Sensoren auch zur Rauheitsmessung eingesetzt werden können. Darüber hinaus überzeugen die Sensoren durch Nanometergenauigkeit.

confocalDT IFS2407-0,1

• Messbereich (mm): 0,1
• Linearität: max. 0,05 µm
• Auflösung: max. 3 nm
• Ideal für Abstands- und Rauheitsmessungen
• Lichtstärkere Ausführung für schnelle Prozesse erhältlich (NA 0,7)
• Kleiner Messfleck 3 µm
• Hohe Empfindlichkeit und großer Messwinkel
• Dickenmessung von transparenten Objekten ab 5 µm

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confocalDT IFS2407-0,8

• Messbereich (mm): 0,8
• Linearität: max. 0,2 µm
• Auflösung: max. 24 nm
• Kleiner Lichtpunkt
• Platzsparende Sensorbauform
• Präzise Abstandsmessung auch auf gekrümmten Oberflächen
• Ideal zur Dickenmessung von dünnen Schichten

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confocalDT IFS2407-3

• Messbereich (mm): 3
• Linearität: max. 0,75 µm
• Auflösung: max. 20 nm
• Großer Grundabstand ca. 28 mm
• Max. Messwinkel ± 30°
• Ideal für Messungen auf gekrümmten und spiegelnden Flächen

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confocalDT IFS2407/90-0,3

• Messbereich (mm): 0,3
• Linearität: max. 0,75 µm
• Auflösung: max.10 nm
• Ideal für Weg- und Rauheitsmessungen
• Kleiner Messfleck 6 µm
• Hohe Empfindlichkeit und großer Messwinkel