Hochpräzises Weißlicht-Interferometer zur berührungslosen Abstands- und Dickenmessung

interferoMETER IMS5400-DS

Die innovativen Weißlicht-Interferometer von Micro-Epsilon setzen eine Benchmark in der hochpräzisen Abstands- und Dickenmessung. Die Sensoren ermöglichen stabile Messergebnisse mit einer Sub-Nanometerauflösung und verfügen über einen vergleichsweise großen Messbereich und Grundabstand. Die Interferometer sind in 3 Serien verfügbar: das IMS5400-DS zur hochpräzisen industriellen Abstandmessung, das IMS5400-TH zur genauen Dickenmessung und das vakuumtaugliche IMS5600-DS für Abstandsmessungen mit Pikometer-Auflösung.

Besonderheiten
  • Absolute Abstandsmessung mit Nanometer-Genauigkeit
  • Abstandsunabhängige Dickenmessungen
  • Best-in-Class: Auflösung < 30 Pikometer (IMS5600-DS)
  • Hohe Signalstabilität dank neuer Auswertealgorithmen und aktiver Temperaturkompensation
  • Großer Grundabstand
  • Einfache Parametrierung über Webinterface
  • Industrieoptimierte Sensoren mit robustem Metallgehäuse und flexiblen Kabeln
  • Vakuumtaugliche Sensoren und Kabel

Interferometer für Industrie und Automation

Das industrietaugliche Weißlicht-Interferometer besteht aus einem robusten Sensor, einem hochflexiblen Sensorkabel und einem Controller im Aluminiumgehäuse, der an einer Hutschiene befestigt werden kann. Der Controller verfügt über eine aktive Temperaturregelung, mit der Änderungen der Umgebungstemperatur kompensiert werden und somit eine enorme Temperaturstabilität erreicht wird. Dank der robusten Bauform kann das Interferometer auch in industriellen Umgebungen integriert werden. Kabellängen bis zu 10 m erlauben darüber hinaus die räumliche Trennung von Controller und Sensor. Für Messaufgaben im Reinraum und im Vakuum stehen vakuumtaugliche Sensoren, Kabel und Kabeldurchführungen zur Verfügung.

Enorme Z-Auflösung und kleiner Lichtfleck zur Messung kleinster Details und Strukturen

Die Sensoren ermöglichen eine Auflösung in Z-Richtung, die unter einem Nanometer liegt. Darüber hinaus erzeugen sie einen kleinen Lichtfleck mit nur 10 µm über den gesamten Messbereich. Dank dieser hohen Auflösung wird die Erfassung kleiner Details wie z.B. Strukturen auf Halbleitern und miniaturisierten Elektronikbauteilen ermöglicht. Der Lichtfleck wird durch einen Pilotlaser visualisiert und erleichtert die Ausrichtung des Sensors.

Patentierter Pilotlaser zur einfachen Sensorpositionierung

Weißlicht-Interferometer arbeiten mit infrarotem Licht im nicht sichtbaren Bereich (ca. 840 nm Wellenlänge), wodurch die Messposition nicht erkennbar ist. Zur Visualisierung der Messposition sind Micro-Epsilon Systeme mit einem Pilotlaser ausgestattet, welcher einen Lichtpunkt auf die Messposition projiziert. Darüber hinaus verwendet der Pilotlaser ein patentiertes Verfahren um neben der Messposition auch Rückmeldung zur Entfernung zu geben. Befindet sich das Messobjekt im richtigen Abstand zum Messobjekt und somit im Messbereich, wird ein konstantes Leuchten des Pilotlaser ausgegeben. Befindet sich das Messobjekt außerhalb des Messbereichs, blinkt der Pilotlaser.

Einfache Bedienung über Webinterface

Die gesamte Konfiguration des Controllers und der Sensoren wird ohne zusätzliche Software über ein einfach zu bedienendes Webinterface durchgeführt. Das Webinterface wird über eine Ethernet-Verbindung aufgerufen und ermöglicht die schnelle und einfache Einstellung von z.B. Mittelungen, Messrate und Presets.

Moderne Schnittstellen zur Einbindung in Maschinen und Anlagen

Der Controller verfügt über integrierte Schnittstellen wie Ethernet, EtherCAT und RS422 sowie zusätzliche Encoderanschlüsse, Analogausgänge, Synchronisationseingänge und digitale I/Os. Durch die Nutzung der Micro-Epsilon Schnittstellenmodule steht PROFINET zur Verfügung. Damit kann das Interferometer in sämtliche Steuerungen und Produktionsprogramme eingebunden werden. 

Analog RS422 Ethernet Ethercat Profinet
Anwendungsbeispiele

Micro-Epsilon Messtechnik
Königbacher Str. 15
94496 Ortenburg
info@micro-epsilon.de
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+49 8542 / 168 - 90