Weißlicht-Interferometer zur absoluten Abstandsmessung mit Nanometer-Genauigkeit

Neu:Absolute Abstandsmessungen mit maximaler Präzision
interferoMETER IMS5400-DS
Absolute Abstandsmessungen mit maximaler Präzision

Das neue Weißlicht-Interferometer IMS5400-DS eröffnet neue Perspektiven in der industriellen Abstandsmessung. Der Controller verfügt über eine intelligente Auswertung und ermöglicht absolute Messungen mit Nanometer-Genauigkeit bei verhältnismäßig großem Grundabstand. Im Vergleich zu anderen absolut messenden optischen Systemen bietet das IMS5400-DS damit eine unübertroffene Kombination aus Genauigkeit, Messbereich und Grundabstand.

Besonderheiten
  • Nanometergenaue Abstandsmessung
  • Absolute Messung, geeignet zur Messung von z.B. Stufenprofilen
  • Kompakte und robuste Sensoren mit großem Grundabstand
  • Messrate bis zu 6 kHz für schnelle Messungen
  • Ethernet, EtherCAT, RS422
  • Robuster Controller mit passiver Kühlung
  • Einfache Konfiguration über Webinterface

Absolute Abstandsmessung mit Nanometerauflösung

Das IMS5400-DS wird zur hochpräzisen Weg- und Abstandsmessung eingesetzt. Anders als herkömmliche Interferometer ermöglicht das IMS5400-DS auch die stabile Messung von Stufenprofilen. Dank der absoluten Messung erfolgt das Abtasten von Stufen mit hoher Signalstabilität und Präzision. Bei Messungen auf bewegte Objekte können somit die Höhenunterschiede von Absätzen, Stufen und Vertiefungen zuverlässig erfasst werden. 

Ideal für industrielle Umgebungen

Robuste Sensoren und ein Controller im Metallgehäuse prädestinieren das System zur Integration in Fertigungslinien. Der Controller lässt sich per Hutschienenmontage im Schaltschrank verbauen und liefert dank aktiver Temperaturkompensation und passiver Kühlung sehr stabile Messergebnisse. Die kompakten Sensoren sind äußerst platzsparend und können auch in beengte Bauräumen integriert werden. Die hochflexiblen Lichtleiter-Kabel sind mit einer Länge bis 10 m verfügbar und erlauben eine räumliche Trennung von Sensor und Controller. Die Inbetriebnahme und Parametrierung erfolgt bequem per Webinterface und erfordert keine Software-Installation.

Kleiner Lichtfleck zur Messung kleinster Details und Strukturen

Die Sensoren erzeugen einen kleinen Lichtfleck über den gesamten Messbereich. Der Lichtfleckdurchmesser beträgt nur 10 µm und ermöglicht die Erfassung kleiner Details wie z.B. Strukturen auf Halbleitern und miniaturisierten Elektronikbauteilen.

Messung auf zahlreiche Oberflächen

Das interferometrische Messverfahren ermöglicht die Messung auf zahlreichen Oberflächen. Damit können hochpräzise Abstandsmessungen auf spiegelnden Metallen, Kunststoffen und Gläsern erfolgen.

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