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reflectCONTROL - 2D/3D-Deflektometrie-Sensor


2D-Defekterkennung & 3D-Formmessung spiegelnder Oberflächen

Hochpräzise Erkennung kleinster Defekte & Formabweichungen

Flexible Integration in automatisierte Prüfprozesse

Hochpräzise Inspektion und Vermessung hochreflektierender Oberflächen

Die reflectCONTROL Sensoren erfassen und prüfen hochreflektierende sowie teilweise transparente Oberflächen mit hoher Präzision. Je nach Sensormodell ermöglichen sie hochauflösende 2D-Inspektionen zur Defekterkennung oder vollflächige 3D-Messungen zur präzisen Form- und Geometrieprüfung. Die phasenmessende Deflektometrie macht selbst kleinste Defekte und Formabweichungen zuverlässig sichtbar.  

Das Anwendungsspektrum reicht von der industriellen Oberflächenprüfung bis zur automatisierten Vermessung von Wafern mit einem Durchmesser von bis zu 300 mm. So lassen sich anspruchsvolle Prüfaufgaben effizient, reproduzierbar und berührungslos in den Produktionsprozess integrieren.  

Präzise 2D- und 3D-Oberflächenprüfung für anspruchsvolle industrielle Mess- und Prüfaufgaben.

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Modellübersicht

reflectCONTROL RCS3500-300 3D-Wafer-Warpage
RCS3500-300 3D-Wafer-Warpage

3D-Warpage- und Planaritätsmessung

Messbereich: 327.1 x 310.6 mm
Auflösung (x,y): 200 µm
Aufnahmezeit: typ. 1 ... 2 s
reflectCONTROL RCS130-160 3D HLP & RCS110-245 2D
RCS130-160 3D HLP / RCS110-245 2D

3D-Geometrievermessung und 2D-Oberflächeninspektion

Messbereich: 110 x 245 mm
Auflösung (x,y): 70 µm
Aufnahmezeit: typ. 1 ... 2 s
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Besonderheiten

  1. Berührungslose 2D- und 3D-Prüfung hochreflektierender Oberflächen
  2. Hochauflösende Defekterkennung und präzise Formmessung
  3. Vollflächige 3D-Erfassung von Bauteilen und Wafern bis 300 mm
  4. Kurze Messzeiten für eine effiziente Qualitätskontrolle
  5. Hohe Messgenauigkeit für anspruchsvolle Oberflächenprüfungen
  6. Flexible Integration in automatisierte Prüf- und Produktionsprozesse
  7. Leistungsstarke 3DInspect Software
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Micro-Epsilon Messtechnik 3D-Zentrale
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Berührungslose 2D- und 3D-Messung mit Deflektometrie

Das Messobjekt wird berührungslos mit definierten Streifenmustern beleuchtet. Die hochreflektierende Oberfläche spiegelt diese Muster in zwei Kameras, die selbst kleinste Veränderungen und Verformungen der Streifen erfassen.

Aus den aufgenommenen Bildsequenzen erzeugt der Sensor hochauflösende 2D-Phasenbilder. Diese ermöglichen die zuverlässige Erkennung und Bewertung von Oberflächendefekten. Bei den 3D-fähigen reflectCONTROL Modellen werden die Phaseninformationen zusätzlich zur Berechnung einer dreidimensionalen Punktewolke beziehungsweise Oberflächentopografie verwendet.

Je nach Sensormodell können die Messdaten zur automatisierten Defekterkennung, Oberflächeninspektion und 3D-Formvermessung weiterverarbeitet werden.

Erfassung reflektiertes Streifenmuster
Erfassung des reflektierten Streifenmusters
Berechnung Phasen- & Krümmungsbilder
Berechnung von Phasen- und Krümmungsbildern
Rekonstruktion 3D-Oberfläche
Rekonstruktion der 3D-Oberfläche
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NEU:reflectCONTROL RCS3500-300 3D-Wafer-Warpage

Sensor für 3D-Wafer-Warpage- und Planaritätsmessung mit 300 mm Messbereich

Full-Wafer-Erfassung in nur einer Aufnahme – ohne Stitching-Fehler und optimiert für spiegelnde Waferoberflächen. Für schnelle und präzise 3D-Warpage- und Planaritätsmessungen, zuverlässige Crash Prevention im Folgeprozess sowie den Einsatz in Nearline- und Inline-Prüfprozessen.

reflectCONTROL RCS3500-300 3D-Wafer-Warpage

Präzise Oberflächenprüfung mit Deflektometrie-Sensoren

Deflektometrie-Sensoren von Micro-Epsilon werden zur hochpräzisen Prüfung spiegelnder und reflektierender Oberflächen eingesetzt. Sie erfassen kleinste Formabweichungen, Welligkeiten und lokale Oberflächenfehler berührungslos und mit hoher Auflösung. Typische Anwendungen finden sich unter anderem in der Halbleiterindustrie, bei optischen Komponenten, Glasoberflächen, Displays sowie lackierten oder polierten Bauteilen.

Die Sensoren ermöglichen sowohl die Qualitätskontrolle einzelner Komponenten als auch die automatisierte Inline-Prüfung in der Produktion. Dadurch lassen sich Fehler frühzeitig erkennen, Ausschuss und Nacharbeit reduzieren sowie eine konstant hohe Produktqualität sicherstellen.

3D-Formvermessung Wafern
3D-Formvermessung von Wafern
Oberflächenprüfung lackierte Komponenten
Oberflächenprüfung von lackierten Komponenten
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Unsere Sensoren halten im Praxiseinsatz, was das Datenblatt verspricht – überzeugen Sie sich:

  • Produktvorführung: Direkt in Ihrem Unternehmen durch einen Micro-Epsilon Spezialisten
  • Leihgerät: Testen Sie unsere Sensoren bei Ihnen vor Ort
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3DInspect - leistungsstarke Software für Parametrierung und Auswertung

Intuitive Benuzteroberfläche
Einfacher Parametrierung und komfortable Erstellung von 3D-Messprogrammen ermöglicht schnelle, effiziente Konfiguration von Messabläufen.

Inline-Betrieb
Integrierte Automatisierungsschnittstelle speichert Messprogramme und ermöglicht automatisierte Messungen ohne zusätzliche Steuergeräte.

Protokollierung und Speicherung
von 3D-Daten direkt in der Software

Software 3DInspect für reflectCONTROL

Eine Software für alle 3D-Sensoren von Micro-Epsilon

Parametrierung

  • Einstellung der optimalen Sensorparameter für die jeweilige Messaufgabe
  • Laden von Parametersätzen
  • Auswahl des zu messenden Bereichs

Datenvorverarbeitung

  • Anpassung der Punktewolke vor der Auswertung, z.B. zur reproduzierbaren Positionierung der Punktewolke.
  • Verfeinern bzw. Filter anwenden um Merkmale hervorzuheben, irrelevante Punkte wegzuschneiden oder Schnitte zu setzen.

Auswertung

  • Mehr als 80 Messprogramme zur Berechnung der gewünschten Messwerte
  • Auswertung und Messung von zuvor erzeugten Schnitten
  • Kombination mehrerer Programme für komplexe Messaufgaben

Ausgabe Messergebnisse

  • Direkte Bewertung eines Messwertes als Ergebnis (IO/NIO Wert). Automatisierte Ausgabe der Messwerte oder der bewerteten Ergebnisse (erfordert Lizenz "Automatisierung")
  • Schaltsignale und Feldbusausgabe

3DInspect

Software für alle 3D-Sensoren

Schnittstellen- und Verrechnungseinheiten

Industrial Performance Unit

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Ethernet Connection & Image Adjustment

3DInspect

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Data Preprocessing
Chapter 2 / 4

3DInspect

Micro Epsilon Logo
3D Data Evaluation
Chapter 3 / 4

3DInspect

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Output and Result Configuration
Chapter 4 / 4

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