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confocalLINE


Neue Maßstäbe in der 3D-Metrologie - hochpräzise und schnell

Höchste Aufösung zur Erkennung kleinster Details und Höhenunterschiede

SMART Auswertung von Profilen & 3D-Punktewolken

Konfokaler Liniensensor für hochpräzise und schnelle 3D-Scans

Die neuen confocalLINE Sensoren ermöglichen hochpräzise Scans mit höchster Punktdichte und hoher Geschwindigkeit. Sie erfassen unterschiedlichste Oberflächen zuverlässig und liefern exakte 3D-Daten für anspruchsvolle Messaufgaben in der Halbleiterproduktion, Elektronikfertigung und im Präzisionsmaschinenbau. Dank integrierter SMART-Auswertung und moderner Feldbus-Schnittstellen lassen sich komplexe Mess- und Inspektionsaufgaben direkt im Sensor lösen - schnell, stabil und hochpräzise.

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Besonderheiten

  1. Hochpräzise Scans mit 2.624 Punkten/Profil
  2. Sehr hohe Signalstabilität auf zahlreichen Oberflächen
  3. Mikrometer-Präzision zur zuverlässigen Erkennung kleinster Details
  4. Kompaktes Sensordesign mit integrierter Datenauswertung
  5. 2D-Profilmessung & 3D-Geometriemessung
  6. Direkte Ausgabe der Messdaten über Feldbus und Modbus (UDP/TCP)
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Micro-Epsilon Messtechnik 3D-Zentrale
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Großer Messbereich mit höchster Punktdichte

Die konfokal-chromatischen Linienscanner erfassen Profile mit Linienlängen von 7 mm in der X-Achse. Mit 2.624 Messpunkten pro Profil entstehen hochauflösende 2D-Profildaten und präzise 3D-Punktewolken - zuverlässig und weitgehend unabhängig von der Oberflächenbeschaffenheit. Durch die linienförmige Erfassung lassen sich vollständige Scans deutlich schneller erzeugen als mit herkömmlicher Punktsensorik.

Höchste Präzision bis ins Detail

Mit 2,7 µm lateraler Auflösung und 200 nm Auflösung in Z erfasst der confocalLINE feinste Strukturen und Höhenunterschiede mit höchster Genauigkeit. Dank der hohen Präzision lassen sich selbst kleinste Messobjekte zuverlässig erfassen und bewerten - ideal für Messaufgaben mit höchsten Genauigkeitsanforderungen.

Bauteil mit Messlinie von confocalLINE CLI8500
Grrößenvergleich confocalLINE CLI8500

Der kleinste Scanner seiner Klasse: Kompaktbauform mit integrierter SMART-Auswertung

Der confocalLINE CLI8500 setzt mit seiner kompakten Baugröße neue Maßstäbe. Da der Sensor weder einen externen Controller noch einen IPC benötigt, lässt er sich auch bei engen Einbauverhältnissen einfach und ohne Schaltschrank integrieren. In der SMART-Ausführung werden die Messprogramme direkt im Sensor ausgeführt und die Messergebnisse an die Steuerung ausgegeben.

Innovative Technologie für hochpräzise Messungen

Die confocalLINE Sensoren nutzen das konfokal-chromatische Messprinzip, bei dem Weißlicht durch eine spezielle Optik in seine Spektralfarben aufgeteilt und linienförmig auf das Messobjekt projiziert wird. Jede Wellenlänge des Spektrums entspricht dabei einem definierten Abstand. Aus dem reflektierten Licht bestimmt der Sensor für jeden Messpunkt den Abstand zur Oberfläche. Die 2.624 Messpunkte pro Linie ergeben ein hochauflösendes Höhenprofil.. Durch das Aneinanderreihen der Profile werden 3D-Punktewolken erzeugt. So können Oberflächentopografien, Kanten, Stufen und Spalte mit höchster Präzision und Messgeschwindigkeit erfasst und direkt im Sensor ausgewertet werden. Bei transparenten und semitransparenten Materialien lassen sich zusätzlich mehrere Grenzflächen erfassen und daraus beispielsweise Materialdicken bestimmen.

konfokal-chromatisches Messprinzip
Software 3DInspect für 3D-Sensoren

Leistungsstarke Software zur Parametrierung und Applikationslösung

Die Software 3DInspect ermöglicht die einfache Parametrierung sowie die komfortable Erstellung von 2D- und 3D-Messprogrammen. Dank ihrer intuitiven Bedienoberfläche lassen sich Messabläufe schnell und effizient konfigurieren. Über die integrierte Automatisierungsschnittstelle werden die erstellten Messprogramme direkt für den SMART-Betrieb auf dem Scanner gespeichert. Dadurch können Messungen automatisiert und ohne weitere Steuergeräte durchgeführt werden.

Einfache Parametrierung der Sensoren

  • Ausrichtung und Filterung der Punktewolke
  • Intuitive Erkennung und Auswahl relevanter Bereiche
  • Valid3D: Echte 3D-Punktewolken statt 2,5D-Auswertung

Leistungsstarke Programme für autonomen SMART-Betrieb

  • Mehr als 80 Messprogramme zur Berechnung der gewünschten Messwerte
  • Kombination mehrerer Programme für komplexe Messaufgaben
  • Übertragen der Messprogramme auf den Scanner für autonomen SMART-Betrieb

Zur Software 3DInspect

Einfache Integration dank zahlreicher Schnittstellen

Anwendungsbereiche

Einsatz von confocalLINE in Halbleiterindustrie
Geometrieprüfung von Wafern
Einsatz von confocalLINE bei Batteriefolienmessung
Beschichtungsprüfung von Batteriefolien
Einsatz von confocalLINE in Medizintechnik
Geoemtrieprüfung von medizinischen Implantaten
Displayglas-Prüfung
Montageüberwachung in der Smartphone-Produktion

Downloads

Kataloge und Datenblätter