Weißlicht-Interferometer zur absoluten Abstandsmessung mit Subnanometer-Genauigkeit

Absolute Abstandsmessungen mit Subnanometer-Auflösung
interferoMETER IMS5600-DS
Absolute Abstandsmessungen mit Subnanometer-Auflösung
Neu:

Das neue Weißlichtinterferometer IMS5600-DS wird zur Abstandsmessung mit höchster Präzision eingesetzt. Der Controller verfügt über eine Spezialabstimmung mit intelligenter Auswertung und ermöglicht absolute Messungen mit Subnanometer-Auflösung. Eingesetzt wird das Interferometer für Messaufgaben mit höchsten Genauigkeitsanforderungen, z.B. in der Elektronik- und Halbleiterfertigung.

Besonderheiten
  • Absolute Abstandsmessung mit Subnanometer-Präzision, geeignet zur Messung von z.B. Stufenprofilen
  • Multipeak-Abstandsmessung von transparenten Objekten
  • Best-in-Class: Auflösung < 30 Pikometer
  • Kompakte und robuste Sensoren mit großem Grundabstand
  • Messrate bis zu 6 kHz für schnelle Messungen
  • Einfache Konfiguration über Webinterface
  • Vakuumtaugliche Sensoren und Kabel

Absolute Abstandsmessung bei großem Messbereich und Grundabstand

Das IMS5600-DS wird zur hochpräzisen Weg- und Abstandsmessung eingesetzt. Die System liefert absolute Messwerte und kann daher auch zur Abstandsmessung von Stufenprofilen eingesetzt werden. Dank der absoluten Messung erfolgt das Abtasten von Stufen mit hoher Signalstabilität. Bei Messungen auf bewegte Objekte können somit die Höhenunterschiede von Absätzen, Stufen und Vertiefungen zuverlässig erfasst werden. Das Messsystem bietet eine Sub-Nanometer-Auflösung bei gleichzeitig großem Grundabstand in Relation zum Messbereich.

Multipeak-Abstandsmessung

Bei der Multipeak-Abstandsmessung auf transparente Objekten werden bis zu 14 Abstandswerte gleichzeitig ausgewertet. Damit kann beispielsweise der Abstand zwischen Glas und einer Trägerplatte ermittelt werden. Darüber kann der Controller die Glasdicke aus den Abstandswerten berechnen.

Konzipiert für hochauflösende Abstandsmessungen im Vakuum

Interferometer der Serie IMS5600-DS sind für Messaufgaben in vakuumierten Umgebungen und in Reinräumen einsetzbar. Dort erzielen die Interferometer eine Auflösung im Subnanometerbereich. Für Messaufgaben im Vakuum bietet Micro-Epsilon geeignete Sensoren, Kabel und Durchführungen an. Diese Sensoren und Kabel sind hochgradig partikelfrei und können vom Reinraum bis zum UHV eingesetzt werden. 

Stabile Abstandsmessungen mit höchster Präzision

Der Controller lässt sich per Hutschienenmontage im Schaltschrank verbauen und liefert dank aktiver Temperaturkompensation und passiver Kühlung sehr stabile Messergebnisse. Die kompakten Sensoren sind äußerst platzsparend und verfügen über hochflexible Lichtleiter-Kabel. Kabellängen bis zu 10 m ermöglichen eine räumliche Trennung von Sensor und Controller. Der Sensor lässt sich dank integriertem Pilotlaser einfach und schnell ausrichten. Die Inbetriebnahme und Parametrierung erfolgt bequem per Webinterface und erfordert keine Software-Installation.

Messung auf zahlreiche Oberflächen

Das interferometrische Messverfahren ermöglicht die Messung auf zahlreichen Oberflächen. Damit können hochpräzise Abstandsmessungen auf spiegelnden Metallen, Kunststoffen und Gläsern erfolgen.

Zahlreiche Modelle für anspruchsvolle Messaufgaben

Modell Messbereich /
Messbereichsanfang
Linearität Anzahl messbarer Schichten
Einsatzbereiche
IMS5600-DS19 2,1 mm / ca. 19 mm ±10 nm -

Hochpräzise Abstandsmessungen in Industrieprozessen z.B. in der Präzisionsfertigung

IMS5600-DS19/VAC

Präzise Positionieraufgaben und Abstandsmessungen in Reinraumumgebungen und Vakuum z.B. in der Displayproduktion zur Maskenpositionierung

IMS5600MP-DS19 Abstandmessung:
2,1 mm / ca. 19 mm
Dickenmessung:
0,01 … 1,3 mm (bei BK7, n=1,5) / ca. 19 mm
±10 nm für den ersten Abstand
±100 nm für jeden weiteren Abstand
Bis zu 13 Schichten Hochpräzise Abstands- und Dickenmessungen in Industrieprozessen z.B. in der Halbleiterproduktion zur Bestimmung von Schichtdicken auf Wafern oder bei der LED-Herstellung
IMS5600MP-DS19/VAC Hochpräzise Abstands- und Dickenmessungen in Reinraumumgebungen und Vakuum
z.B. in der Halbleiterproduktion zur Messung von Position und Spaltmaßen an Masken und Wafern

Moderne Schnittstellen zur Einbindung in Maschinen und Anlagen

Der Controller verfügt über integrierte Schnittstellen wie Ethernet, EtherCAT und RS422 sowie zusätzliche Encoderanschlüsse, Analogausgänge, Synchronisationseingänge und digitale I/Os. Durch die Nutzung der Micro-Epsilon Schnittstellenmodule stehen PROFINET und EthernetIP zur Verfügung. Damit kann das Interferometer in sämtliche Steuerungen und Produktionsprogramme eingebunden werden. 

Analog RS422 Ethernet Ethercat Profinet EthernetIP

Micro-Epsilon Messtechnik
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